據(jù)晶升股份消息，近日，晶升股份自主研發(fā)的大尺寸CVDSiC化學(xué)氣相沉積涂

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據(jù)晶升股份消息，近日，晶升股份自主研發(fā)的大尺寸CVD SiC化學(xué)氣相沉積涂層成套設(shè)備完成整機(jī)出廠檢驗(yàn)，正式裝車發(fā)運(yùn)交付客戶，標(biāo)志著公司在大尺寸碳化硅涂層工藝裝備領(lǐng)域取得重要進(jìn)展，為半導(dǎo)體熱場關(guān)鍵部件的國產(chǎn)化制造提供了有力支撐。